Aluminium ist ein Leichtmetall mit guter elektrischer und thermischer Leitfähigkeit sowie einfacher Verarbeitung, was es zu einem wichtigen Material in der Halbleiterfertigung macht. Zu den Hauptvorteilen von Aluminium gehören:
1. Elektrische Leitfähigkeit: Aluminium ist ein gut leitfähiges Metall, seine Leitfähigkeit ist nicht so gut wie die von Kupfer, aber aufgrund seiner geringeren Atommasse zeigt Aluminium eine bessere Leistung bei der Übertragung von Hochfrequenzsignalen.
2. Verarbeitbarkeit: Aluminium weist eine gute Duktilität und Plastizität auf und bildet im Dünnfilmabscheidungsprozess einen gleichmäßigen und dichten Film.
3. Korrosionsbeständigkeit: Aluminium in der Luft kann eine dichte Schicht aus Aluminiumoxidfilm bilden, wodurch es in manchen Umgebungen einen gewissen Grad an Korrosionsbeständigkeit aufweist.
4. Niedrige Kosten: Im Vergleich zu Kupfer und Gold ist Aluminium kostengünstiger, was es für die Massenproduktion wirtschaftlich vorteilhaft macht.